2016年式
測定範囲600mm x 300mm x 200mm
型式 コントローラー XM-1500 ヘッド XM-C1000 ヘッドベースモニター部 XM-M1200 ヘッドベース可動ステージ部 XM-S1200 カメラ プローブ ステージマーカー XM-T1200 撮像素子 400万画素 CMOS 最小表示単位 1マイクロm 測定精度 繰り返し精度 ステージロック時 ±3マイクロm 繰り返し精度 ステージアンロック時 ±4マイクロm 指示誤差 ステージロック時 ±8マイクロm 指示誤差 ステージアンロック時 ±(10+L/100)マイクロm ステージ部 耐荷重 25kg X軸可動範囲 ±100mm 回転範囲 ±60° プローブ数 2 ✤仕様と現品に相違ある場合は、現品優先とさせて頂きます。