東京精密粗さ試験機 SURFCOM 3000A-DX

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管理番号: 21103010
商品名: 粗さ試験機
メーカー: 東京精密
型式: SURFCOM 3000A-DX
年式: 2016

仕様

◆測定範囲ZＸ：12ｍｍ/50ｍｍアーム,24ｍｍ/100ｍｍアーム×200
◆精度Ｚ軸指示精度(縦方向)：±(0.3+2Ｈ/100)μｍ(Ｈ:測定高さｍｍ)
◆測定分解能：50nm/50mm アーム、10nm/100mmアーム
◆精度 X軸指示精度(横方向)：±(0.5+L/200)μｍ(L:測定長さｍｍ)
◆サンプリング間隔：0.05～20μｍ
◆真直度精度：(0.05+1.5L/1000)μｍ
◆センシング方式 Z軸(縦方向)：高安定倍光路型レーザ干渉計
◆センシング方式 X軸(横方向)：光回折スケール

✤仕様と現品に相違ある場合は、現品優先とさせて頂きます。

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