測定範囲:600✕300✕200mm

型式　　　　コントローラー　XM-1500 　　　　　　ヘッド　XM-C1000 　　　　　　ヘッドベースモニター部　XM-M1200 　　　　　　ヘッドベース可動ステージ部　XM-S1200 　　　　　　カメラ　プローブ　ステージマーカー　XM-T1200 撮像素子　　400万画素　CMOS 最小表示単位　　　1マイクロm 測定精度　　繰り返し精度　ステージロック時　　　　±3マイクロm 　　　　　　繰り返し精度　ステージアンロック時　　±4マイクロm 　　　　　　指示誤差　　　ステージロック時　　　　±8マイクロm 　　　　　　指示誤差　　　ステージアンロック時　　±（10+L/100）マイクロm ステージ部　耐荷重　　　　25kg 　　　　　　X軸可動範囲　±100mm 　　　　　　回転範囲　　　±60° プローブ数　　　　　　　　2 ✤仕様と現品に相違ある場合は、現品優先とさせて頂きます。